摘要：本發(fā)明公開一種半導(dǎo)體傳送設(shè)備及其取放裝置，半導(dǎo)體傳送設(shè)備，可用以將半導(dǎo)體元件自臨時(shí)存放區(qū)傳送至目標(biāo)區(qū)，此設(shè)備包括取放裝置以及機(jī)械手臂，其中取放裝置包括吸管以及吸嘴。取放裝置的吸管具有取放端，吸嘴套設(shè)在取放端，并具有取放面。而且，此取放面具有多個(gè)吸孔，連通至吸管的取放端。機(jī)械手臂則是連接至取放裝置的吸管，用以帶動(dòng)取放裝置在臨時(shí)存放區(qū)與目標(biāo)區(qū)之間移動(dòng)。本發(fā)明提供的半導(dǎo)體傳送設(shè)備是在取放裝置中使用具有多個(gè)吸孔的吸嘴，因此可借由調(diào)整吸孔的數(shù)量及孔徑而在不改變吸嘴與半導(dǎo)體元件之間的接觸面積的情況下增加取放裝置的吸力，進(jìn)而有效改善取放裝置的取放效率，并延長(zhǎng)吸嘴的使用壽命。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人青島天信通軟件技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人姜付鵬;李程;武傳偉;
- 地址266000 山東省青島市市南區(qū)山東路9號(hào)深業(yè)大廈A座23-B戶
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210534806.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年12月12日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102983094A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年03月20日
- 分類號(hào)H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;
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