摘要：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝熱處理領(lǐng)域，尤其是涉及一種爐體排風(fēng)控制裝置，包括氣壓驅(qū)動單元、開關(guān)機構(gòu)和風(fēng)口結(jié)構(gòu)單元，所述的開關(guān)機構(gòu)設(shè)置有開關(guān)主體，所述的氣壓驅(qū)動單元可驅(qū)動該開關(guān)主體，使該開關(guān)主體直線往復(fù)運動，從而執(zhí)行對風(fēng)口結(jié)構(gòu)單元的開啟和關(guān)閉動作。本發(fā)明對爐體排風(fēng)的開關(guān)機構(gòu)進行有效控制，使爐體排風(fēng)控制可靠安全；同時能夠有效阻擋爐體熱量的逸出，具有良好的隔熱效果；本發(fā)明的爐體排風(fēng)控制裝置結(jié)構(gòu)簡單，能夠進行精確運作，且成本較低。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人孫少東;董金衛(wèi);趙燕平;鐘華;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201210365936.5
- 申請時間2012年09月27日
- 申請公布號CN102889791A
- 申請公布時間2013年01月23日
- 分類號F27D19/00(2006.01)I;
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