摘要：本發(fā)明涉及一種熱處理設(shè)備的爐門控制機(jī)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，通過設(shè)置動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置、傳動(dòng)裝置以及控制單元，利用花鍵軸套以及花鍵軸承之間的傳動(dòng)作用，實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)爐門旋轉(zhuǎn)與升降的功能。本發(fā)明提供的爐門控制機(jī)構(gòu)，可靈活控制爐門的動(dòng)作，操作方便，密封性能好，避免了熱處理設(shè)備大量散熱以及熱輻射的問題，節(jié)約了成本，進(jìn)而提高了半導(dǎo)體臥式熱處理設(shè)備的工藝效率和機(jī)構(gòu)的可靠性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人賀小平;桂曉波;王廣明;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510010056.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年01月08日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN104596314A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年05月06日
- 分類號(hào)F27D19/00(2006.01)I;F27D1/18(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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