摘要：本發(fā)明為一種帶探測器的機械手，涉及一種機械手，尤其是適用于LED外延片檢測行業(yè)中一種帶探測器的機械手。本發(fā)明主要包括水平運動機構(gòu)（12）、垂直運動機構(gòu)（13）、旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)（14）、機械爪(11)、探測元件(15)、機架(16)。本發(fā)明的優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單、成本低、控制方便、三個軸可以同時運動，大大節(jié)省了時間，所述的機械爪一端開有吸氣孔配合氣路輔助系統(tǒng)能更有效的抓緊外延片，機械爪的另一端裝有探測元件，工作前探測料倉有無外延片及外延片的位置，減少做無用功的時間以及防止損壞外延片。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京中拓機械有限責任公司;
- 發(fā)明人郭金源;徐杰;
- 地址102208 北京市昌平區(qū)回龍觀北京中拓機械有限責任公司
- 申請?zhí)?/b>CN201210127999.7
- 申請時間2012年04月27日
- 申請公布號CN102658543A
- 申請公布時間2012年09月12日
- 分類號B25J9/02(2006.01)I;B25J15/06(2006.01)I;B25J19/02(2006.01)I;
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