摘要：本實用新型公開了一種帶有排氣的冷卻水供給裝置，供給裝置包括主管路，一端通過總控閥門連接至工廠冷卻水供給端，另一端連接一排氣支路；主管路并聯(lián)有若干冷卻水輸出口，冷卻水輸出口連接冷卻水支路，冷卻水支路通過閥門連接至各冷卻點的供水管路上；排氣支路可作為備用冷卻水支路，通過閥門連接至所需冷卻點的供水管路上。本實用新型用于半導體熱處理設(shè)備的水冷系統(tǒng)，通過控制模塊執(zhí)行對各閥門的啟閉組合模式，可及時排出管路中累積的空氣，有效避免了殘留空氣對冷卻水的精確控制造成的不利影響。本裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于操作，成本低廉，具備很好的實際推廣價值。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人張軍奎;王麗榮;宋新豐;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201320891887.9
- 申請時間2013年12月31日
- 申請公布號CN203644730U
- 申請公布時間2014年06月11日
- 分類號H01L21/02(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
