摘要：本實用新型公開了一種風(fēng)機過濾單元，安裝在半導(dǎo)體立式爐設(shè)備的側(cè)壁上，包括：殼體,所述殼體為長方體空心結(jié)構(gòu)，殼體的正面開設(shè)有出風(fēng)口；第一過濾器,所述第一過濾器固定安裝在殼體的出風(fēng)口處；空腔,所述第一過濾器與所述殼體之間設(shè)有供氣流通過的空腔；所述殼體的底部設(shè)有凸出的離心風(fēng)機安裝位，所述離心風(fēng)機安裝在離心風(fēng)機安裝位上，殼體底部設(shè)有進氣口，所述進氣口將半導(dǎo)體立式爐設(shè)備內(nèi)的氣流吸入，經(jīng)過離心風(fēng)機并排送氣體至空腔，經(jīng)第一過濾器過濾后，提供氣流至半導(dǎo)體立式爐設(shè)備內(nèi)部。本實用新型提供的風(fēng)機過濾單元結(jié)構(gòu)簡單，占用空間小，充分的利用半導(dǎo)體立式爐設(shè)備中的空間，為微環(huán)境提供穩(wěn)定的、高潔凈度的、均勻的水平氣流。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人宋新豐;王麗榮;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201420013528.8
- 申請時間2014年01月09日
- 申請公布號CN203641130U
- 申請公布時間2014年06月11日
- 分類號F04D29/70(2006.01)I;F04D29/66(2006.01)I;F04D29/42(2006.01)I;
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