摘要：本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種熱偶升降裝置，包括熱偶支撐架，調(diào)整熱偶支撐架高度的升降機(jī)構(gòu)，支撐升降機(jī)構(gòu)的支撐腿，所述支撐腿與升降機(jī)構(gòu)均連接在支撐動(dòng)平臺(tái)上，所述支撐腿為三個(gè)連桿，所述連桿一端與所述支撐動(dòng)平臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述連桿的另一端與傳動(dòng)部件可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。本實(shí)用新型熱偶升降裝置可對(duì)熱偶進(jìn)行三個(gè)方向的移動(dòng)，節(jié)約人力，操作方便。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人郝琪;林欣家;董金衛(wèi);
- 地址100015 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201320471430.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年08月02日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203465015U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年03月05日
- 分類號(hào)G01K1/14(2006.01)I;G01K7/02(2006.01)I;C30B31/00(2006.01)I;
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