摘要：本實(shí)用新型涉及硅片濕法處理領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種過(guò)濾裝置，其包括進(jìn)液口接頭、進(jìn)液口接頭連接件、過(guò)濾件、排液口接頭連接件和排液口接頭，進(jìn)液口接頭的一端外接工藝腔排液口，其另一端連接進(jìn)液口接頭連接件，所述進(jìn)液口接頭連接件與所述排液口接頭連接件連接，排液口接頭的一端連接排液口接頭連接件，其另一端外接切換閥，過(guò)濾件設(shè)置在進(jìn)液口接頭連接件和排液口接頭連接件之間。本實(shí)用新型通過(guò)過(guò)濾件將碎屑過(guò)濾掉，從而減少了碎屑對(duì)閥體的損害，在碎片后做維修時(shí)，只需對(duì)過(guò)濾裝置進(jìn)行維修、清理或更換，而不需要對(duì)過(guò)濾裝置之后的閥做維修，這樣降低了維修時(shí)間和維修成本，提高了閥的使用壽命。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人王波雷;張豹;賈星杰;高浩;
- 地址100015 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220602640.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年11月14日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203002085U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年06月19日
- 分類號(hào)B01D35/02(2006.01)I;B01D29/03(2006.01)I;
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