摘要：本實用新型涉及一種區(qū)熔再結(jié)晶設(shè)備，它包括一帶有滑道的實驗臺，實驗臺上設(shè)置有可滑動支架，支架的頂部固定連接一工作臺，支架的底座穿設(shè)有一端帶有螺紋一轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸的另一端上設(shè)置有一計數(shù)器，轉(zhuǎn)軸連接到一馬達的輸出端；計數(shù)器并聯(lián)連接馬達和一控制模塊，馬達連接控制模塊，控制模塊內(nèi)置有電源；工作臺的另一端頂面上設(shè)置有一襯底，與工作臺對應(yīng)設(shè)置有一石英腔室，石英腔室的一端設(shè)置有進口，石英腔室外部由頂部帶有凹槽并固定在實驗臺上的罩體進行密封，凹槽內(nèi)設(shè)置有一聚光裝置，聚光裝置通過攝像頭連接監(jiān)視器，罩體的底部設(shè)置有襯底加熱裝置和冷卻裝置，聚光裝置內(nèi)設(shè)置有薄膜加熱裝置，襯底加熱裝置和加熱裝置連接控制模塊。本實用新型可廣泛應(yīng)用于各種太陽能電池制備中。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京市太陽能研究所有限公司;
- 發(fā)明人許穎;宋爽;勵旭東;勾憲芳;馮維希;
- 地址100191 北京市海淀區(qū)花園路3號
- 申請?zhí)?/b>CN200920222524.X
- 申請時間2009年09月15日
- 申請公布號CN201532964U
- 申請公布時間2010年07月21日
- 分類號H01L31/18(2006.01)I;
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