摘要：本實(shí)用新型涉及一種金屬射頻反應(yīng)室，設(shè)有腔體、電極板，其特征在于：所述腔體(1)為不銹鋼材質(zhì)的方形腔體，其前面設(shè)有不銹鋼門(mén)(2)，腔體內(nèi)壁的左右側(cè)面分別設(shè)有射頻電極板(3.1、3.2)，所述腔體底部設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的工件托盤(pán)(4)，工件托盤(pán)通過(guò)連接軸與腔體外的電機(jī)(5)傳動(dòng)連接，所述腔體內(nèi)頂部設(shè)有多孔氣體導(dǎo)流板(6)，腔體頂板上設(shè)有進(jìn)氣孔(7)，腔體底板上設(shè)有與真空泵連接的排氣管(8)。所述腔體上設(shè)有工藝觀查窗(10)和真空檢測(cè)口(9)。本實(shí)用新型適用于硅片加工，結(jié)構(gòu)新穎，操作靈活，加工效果好，使用壽命長(zhǎng)，對(duì)環(huán)境不污染。
- 專利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人劉薇;王廣明;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200920109665.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年06月30日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201438453U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2010年04月14日
- 分類(lèi)號(hào)H01L21/00(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
