摘要：本實(shí)用新型公開了一種300mm立式氧化爐爐體，設(shè)有主體、頂蓋、基座，主體為一直立圓筒形，由內(nèi)到外依次設(shè)有爐絲、爐絲支撐件、保溫棉層、內(nèi)壁、冷卻管、外壁，爐絲由爐絲支撐件支撐固定，保溫棉層設(shè)置在內(nèi)壁內(nèi)側(cè)，在內(nèi)壁和外壁之間設(shè)置冷卻管；設(shè)有多個(gè)熱電偶、爐絲引線穿過保溫層、內(nèi)壁、外壁，橫向固定在內(nèi)壁上；在主體上口沿設(shè)有環(huán)形頂塊，頂塊中間設(shè)有頂蓋，下口設(shè)有底塊，頂蓋、頂塊、保溫棉、底塊組成保溫層，保溫層固定在內(nèi)壁上；冷卻管和外壁也固定在內(nèi)壁上；內(nèi)壁固定在基座上，基座上設(shè)有冷卻密封槽和進(jìn)出水口。本實(shí)用新型適用于300mm硅片進(jìn)行氧化、退火等工藝，溫度控制精確，具有高質(zhì)量、高壽命、高效率的特點(diǎn)。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200820124688.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2008年12月17日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201382675Y
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2010年01月13日
- 分類號(hào)F27B1/00(2006.01)I;F27B1/10(2006.01)I;
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