摘要：本實用新型公開了一種300mm立式氧化爐爐體，設有主體、頂蓋、基座，主體為一直立圓筒形，由內(nèi)到外依次設有爐絲、爐絲支撐件、保溫棉層、內(nèi)壁、冷卻管、外壁，爐絲由爐絲支撐件支撐固定，保溫棉層設置在內(nèi)壁內(nèi)側，在內(nèi)壁和外壁之間設置冷卻管；設有多個熱電偶、爐絲引線穿過保溫層、內(nèi)壁、外壁，橫向固定在內(nèi)壁上；在主體上口沿設有環(huán)形頂塊，頂塊中間設有頂蓋，下口設有底塊，頂蓋、頂塊、保溫棉、底塊組成保溫層，保溫層固定在內(nèi)壁上；冷卻管和外壁也固定在內(nèi)壁上；內(nèi)壁固定在基座上，基座上設有冷卻密封槽和進出水口。本實用新型適用于300mm硅片進行氧化、退火等工藝，溫度控制精確，具有高質(zhì)量、高壽命、高效率的特點。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人鐘華;盛金龍;程朝陽;胡星強;艾倫·埃馬米;
- 地址100016北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN200820124688.4
- 申請時間2008年12月17日
- 申請公布號CN201382675Y
- 申請公布時間2010年01月13日
- 分類號F27B1/00(2006.01)I;F27B1/10(2006.01)I;
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