摘要：本發(fā)明公開了一種具有加熱裝置的工藝管排氣管路及控制方法，通過在工藝管排氣管路安裝加熱裝置，可根據(jù)工藝菜單中不同步驟的加熱溫度需求，以設(shè)定的溫度控制目標(biāo)值對排氣管路的管壁進行加熱及溫度控制，避免了工藝排氣時的尾氣在排氣管路的管壁上沉積并形成顆粒，從而保證了工藝管排氣管路的通暢。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人穆曉航;鐘結(jié)實;王凱;楊帥;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201610921716.4
- 申請時間2016年10月21日
- 申請公布號CN106507514A
- 申請公布時間2017年03月15日
- 分類號H05B3/02(2006.01)I;H05B1/02(2006.01)I;
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