摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種電磁驅(qū)動(dòng)式微機(jī)械可調(diào)諧琺珀濾波器及其制作方法，屬于智能光功能器件領(lǐng)域，主要涉及印刷電路板技術(shù)、微加工技術(shù)、干涉濾波技術(shù)以及電磁驅(qū)動(dòng)技術(shù)等。該可調(diào)諧琺珀濾波器，主要包括可動(dòng)鏡面支撐4、固定鏡面支撐2、第一反射鏡8、第二反射鏡14、永磁體16和線圈6，所述部件均容納于箱體1和蓋板5形成的空腔內(nèi)。本發(fā)明提出的基于印刷電路板的電磁驅(qū)動(dòng)式可調(diào)諧琺珀濾波器具有比靜電驅(qū)動(dòng)大的多的可調(diào)諧范圍，能大幅度增大器件的工作波段；通過(guò)調(diào)節(jié)不同子線圈內(nèi)電流的大小與方向可以微調(diào)器件可動(dòng)部分，從而克服加工及裝配誤差，保持上下兩鏡面平行；同時(shí)其制作工藝采用機(jī)械加工、標(biāo)準(zhǔn)PCB加工、粘接等工藝，成本低、加工周期短、工藝成熟。本發(fā)明將促進(jìn)微機(jī)械可調(diào)諧琺珀濾波器在實(shí)際系統(tǒng)中的應(yīng)用推廣。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
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- 申請(qǐng)時(shí)間2015年11月11日
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- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年03月23日
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