摘要：本發(fā)明提供了一種微型的橋式結(jié)構(gòu)及其制備方法，包括四個(gè)懸臂梁，金屬橋面，四個(gè)金屬橋墩和襯底；每一個(gè)懸臂梁均為L型結(jié)構(gòu)，懸臂梁的一端與一個(gè)金屬橋墩垂直固定連接，另一端與金屬橋面連接；金屬橋面與懸臂梁位于同一個(gè)平面，四個(gè)懸臂梁將金屬橋面懸掛于襯底上，并在金屬橋面的下底面與襯底之間形成空腔結(jié)構(gòu)。方法包括在潔凈的襯底表面制備金屬橋墩；在形成有金屬橋墩的襯底表面涂覆犧牲層；對犧牲層進(jìn)行光刻處理后將金屬橋墩頂部的犧牲層去除并露出金屬橋墩的頂部；對犧牲層進(jìn)行固化處理；在固化后的犧牲層上制備金屬橋面；去除金屬橋面底部的犧牲層形成空腔，搭建橋式結(jié)構(gòu)。本發(fā)明提供的橋式結(jié)構(gòu)，可調(diào)諧范圍大，橋面平行度好。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學(xué);廣西師范學(xué)院;中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院;
- 發(fā)明人蒙慶華;陳四海;賴建軍;黃光;呂超鴻;黃鷹;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201310215152.9
- 申請時(shí)間2013年05月31日
- 申請公布號CN103345057B
- 申請公布時(shí)間2016年06月01日
- 分類號G02B26/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;
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