摘要：本發(fā)明提供了一種微型的橋式結(jié)構(gòu)及其制備方法，包括四個懸臂梁，金屬橋面，四個金屬橋墩和襯底；每一個懸臂梁均為L型結(jié)構(gòu)，懸臂梁的一端與一個金屬橋墩垂直固定連接，另一端與金屬橋面連接；金屬橋面與懸臂梁位于同一個平面，四個懸臂梁將金屬橋面懸掛于襯底上，并在金屬橋面的下底面與襯底之間形成空腔結(jié)構(gòu)。方法包括在潔凈的襯底表面制備金屬橋墩；在形成有金屬橋墩的襯底表面涂覆犧牲層；對犧牲層進行光刻處理后將金屬橋墩頂部的犧牲層去除并露出金屬橋墩的頂部；對犧牲層進行固化處理；在固化后的犧牲層上制備金屬橋面；去除金屬橋面底部的犧牲層形成空腔，搭建橋式結(jié)構(gòu)。本發(fā)明提供的橋式結(jié)構(gòu)，可調(diào)諧范圍大，橋面平行度好。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學;廣西師范學院;中國科學院深圳先進技術(shù)研究院;
- 發(fā)明人蒙慶華;陳四海;賴建軍;黃光;呂超鴻;黃鷹;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201310215152.9
- 申請時間2013年05月31日
- 申請公布號CN103345057B
- 申請公布時間2016年06月01日
- 分類號G02B26/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;
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