摘要：本發(fā)明公開了一種微型F-P腔可調諧濾波器及其制備方法，包括襯底，在襯底片的一面附著增透膜，另一面附著第一布拉格反射鏡，在第一布拉格反射鏡上附著第一電極和第二電極；在第一電極上附著四個金屬橋墩，在四個金屬橋墩上附著有橋面；橋面由四個懸臂梁和可動隔膜構成，每一個懸臂梁為L型，一個懸臂梁的一端與一個金屬橋墩垂直固定連接，另一端與可動隔膜連接；可動隔膜為正方形且中心嵌有第二布拉格反射鏡；第一布拉格反射鏡與第二布拉格反射鏡構成F-P腔的諧振腔；通電后，四個懸臂梁發(fā)生彈性形變并帶動可動隔膜和第二布拉格反射鏡在垂直于第一布拉格反射鏡的方向移動，改變諧振腔的腔長，實現(xiàn)濾波器的可調諧功能，該濾波器能有大的調諧范圍，響應速度快。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學;廣西師范學院;中國科學院深圳先進技術研究院;
- 發(fā)明人蒙慶華;陳四海;賴建軍;黃光;呂超鴻;黃鷹;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201310215186.8
- 申請時間2013年05月31日
- 申請公布號CN103293660B
- 申請公布時間2015年06月10日
- 分類號G02B26/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;
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