摘要：本發(fā)明公開了一種微型F-P腔可調(diào)諧濾波器及其制備方法，包括襯底，在襯底片的一面附著增透膜，另一面附著第一布拉格反射鏡，在第一布拉格反射鏡上附著第一電極和第二電極；在第一電極上附著四個(gè)金屬橋墩，在四個(gè)金屬橋墩上附著有橋面；橋面由四個(gè)懸臂梁和可動(dòng)隔膜構(gòu)成，每一個(gè)懸臂梁為L(zhǎng)型，一個(gè)懸臂梁的一端與一個(gè)金屬橋墩垂直固定連接，另一端與可動(dòng)隔膜連接；可動(dòng)隔膜為正方形且中心嵌有第二布拉格反射鏡；第一布拉格反射鏡與第二布拉格反射鏡構(gòu)成F-P腔的諧振腔；通電后，四個(gè)懸臂梁發(fā)生彈性形變并帶動(dòng)可動(dòng)隔膜和第二布拉格反射鏡在垂直于第一布拉格反射鏡的方向移動(dòng)，改變諧振腔的腔長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)濾波器的可調(diào)諧功能，該濾波器能有大的調(diào)諧范圍，響應(yīng)速度快。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);廣西師范學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院;
- 發(fā)明人蒙慶華;陳四海;賴建軍;黃光;呂超鴻;黃鷹;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310215186.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年05月31日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103293660B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年06月10日
- 分類號(hào)G02B26/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;
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