摘要：本發(fā)明公開了一種微型精確鍍膜系統(tǒng)，所述微型精確鍍膜系統(tǒng)包括反應腔系統(tǒng)、反應源系統(tǒng)和抽氣系統(tǒng)，上部分為反應腔系統(tǒng)，下部分為反應源系統(tǒng)，反應腔系統(tǒng)與反應源系統(tǒng)密封連接，抽氣系統(tǒng)與反應腔系統(tǒng)密封連接。本發(fā)明首次提出一種微型精確鍍膜系統(tǒng)的一體化設計，專門適用于研究性領域工具化使用，本裝置的優(yōu)點是體積小不占空間，外觀尺寸只有350*350*400mm，可直接放于桌面上；反應腔體實際空間小，且采用烘烤式加熱方式，溫場均勻，節(jié)約反應源用量；操作簡單，只需輸入沉積薄膜厚度，系統(tǒng)會自動匹配參數(shù)運行；相對于市面在售鍍膜系統(tǒng)，設備使用以及維護成本低。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人無錫邁納德微納技術有限公司;
- 發(fā)明人左雪芹;梅永豐;徐濤;
- 地址214028 江蘇省無錫市新區(qū)長江南路35號空港產(chǎn)業(yè)園科技商務中心B棟603室
- 申請?zhí)?/b>CN201410202912.7
- 申請時間2014年05月15日
- 申請公布號CN103993295A
- 申請公布時間2014年08月20日
- 分類號C23C16/46(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
