摘要：本發(fā)明公開了一種雙加熱裝置，它包括沉積室(1)，基片加熱器(2)固定在沉積室(1)上方，基片加熱器(2)的基片放置面(4)向下，鎂錠加熱器(3)與沉積室(1)內(nèi)下方連接，鎂錠加熱器(3)的鎂錠放置面(5)向上，沉積室(1)設(shè)有通氣口(6)和真空泵(10)。本發(fā)明的裝置結(jié)構(gòu)簡單，容易操作，成本低廉；用化學(xué)氣相沉積法制備多層超導(dǎo)薄膜，保證了所制成的多層超導(dǎo)薄膜不但均勻性好，而且面積大(直徑可達(dá)到100mm以上)，利于實(shí)際應(yīng)用。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人貴州大學(xué);
- 發(fā)明人傅興華;王松;楊發(fā)順;楊健;
- 地址550003貴州省貴陽市蔡家關(guān)
- 申請?zhí)?/b>CN200610201503.0
- 申請時(shí)間2006年12月31日
- 申請公布號CN100529175C
- 申請公布時(shí)間2009年08月19日
- 分類號C23C16/46(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;
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