摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種基于垂直位移掃描的非接觸式表面形貌測(cè)量方法及其裝置，它采用計(jì)算機(jī)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)垂直位移來(lái)進(jìn)行測(cè)量，并掃描和采集工作臺(tái)垂直移動(dòng)的距離作為測(cè)量數(shù)據(jù)，輸入計(jì)算機(jī)中作為該X-Y-Z坐標(biāo)上采集到的Z坐標(biāo)，通過(guò)移動(dòng)工作臺(tái)，重復(fù)采集多個(gè)坐標(biāo)的測(cè)量數(shù)據(jù)，經(jīng)過(guò)計(jì)算機(jī)處理后即可得到測(cè)量的工件表面形貌。本發(fā)明將聚焦物鏡位置固定，通過(guò)移動(dòng)工作臺(tái)來(lái)測(cè)量數(shù)據(jù)，大大提高了測(cè)量的精度。從而真正實(shí)現(xiàn)了高精度、大量程的非接觸測(cè)量，并且具有速度快、性價(jià)比高的特點(diǎn)。本發(fā)明可對(duì)不同材料構(gòu)件的輪廓尺寸、形狀、波度及表面粗糙度的二、三維非接觸式綜合測(cè)量。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人貴州大學(xué);
- 發(fā)明人楊旭東;陳育榮;謝鐵邦;李屹;
- 地址550003貴州省貴陽(yáng)市蔡家關(guān)貴州大學(xué)科技處
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200610200070.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2006年01月23日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN100483071C
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2009年04月29日
- 分類號(hào)G01B21/20(2006.01)I;G01B21/30(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I;
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