摘要：本發(fā)明公開了一種探針式輪廓儀形貌測量動(dòng)態(tài)誤差的控制方法，涉及探針式輪廓儀形貌測量領(lǐng)域，以下步驟，(1)、確定輪廓儀形貌測量基本參數(shù)；(2)、構(gòu)建測量力模型以及測量力分析；(3)、構(gòu)建探針跳動(dòng)的動(dòng)力學(xué)模型；(4)、被測工件形貌測量的仿真；(5)、根據(jù)測量要求，優(yōu)化選擇測量速度與工件裝夾高度。本發(fā)明不需要修改輪廓儀的硬件結(jié)構(gòu)，針對具體的被測工件和測量要求設(shè)置掃描速度與工件的裝夾高度，實(shí)現(xiàn)對測量動(dòng)態(tài)誤差和測量力的優(yōu)化控制。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人四川大學(xué);
- 發(fā)明人許斌;劉乾乾;趙世平;
- 地址610065 四川省成都市武侯區(qū)一環(huán)路南一段24號
- 申請?zhí)?/b>CN201610312680.X
- 申請時(shí)間2016年05月12日
- 申請公布號CN105841658A
- 申請公布時(shí)間2016年08月10日
- 分類號G01B21/20(2006.01)I;G06F17/50(2006.01)I;
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