摘要：本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體工藝的報(bào)警處理方法，用于對(duì)半導(dǎo)體處理工藝的各工藝步驟所產(chǎn)生的不同報(bào)警事件進(jìn)行相應(yīng)的處理，所述報(bào)警處理方法包括對(duì)于每一個(gè)所述報(bào)警事件根據(jù)不同的所述工藝步驟設(shè)定對(duì)應(yīng)的組別；其中，不同所述工藝步驟中，相同的所述報(bào)警事件所對(duì)應(yīng)的組別不完全相同；根據(jù)發(fā)生報(bào)警事件的工藝步驟獲得該報(bào)警事件所對(duì)應(yīng)的組別；以及以該組別所對(duì)應(yīng)的處理方式進(jìn)行處理。本發(fā)明還提供了一種報(bào)警處理系統(tǒng)，能夠根據(jù)實(shí)際情況在不同工藝步驟中對(duì)同一報(bào)警事件進(jìn)行區(qū)別對(duì)待，提高半導(dǎo)體工藝的成功率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人張立超;劉建濤;鐘結(jié)實(shí);王亞寧;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410058336.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年02月20日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103794024A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年05月14日
- 分類號(hào)G08B21/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
