摘要：本發(fā)明公開了一種多層存儲(chǔ)臺(tái)裝置，其調(diào)平底座包括位于下層的支撐板，位于上層的調(diào)節(jié)板，設(shè)于支撐板和調(diào)節(jié)板之間的調(diào)平部件，以及固定支撐板和調(diào)節(jié)板的鎖緊部件；其支撐腳支撐為成對的支撐腳支撐架，調(diào)節(jié)板通過一對相向設(shè)置的連接側(cè)板與所述支撐腳支撐架固接，支撐腳支撐架在連接側(cè)板的內(nèi)側(cè)可沿豎直方向相向多層設(shè)置；每層支撐腳支撐架的上表面設(shè)有若干個(gè)支撐腳。本發(fā)明可使晶圓得以多層存儲(chǔ)，提高機(jī)械手的利用率，增加生產(chǎn)產(chǎn)量，具有結(jié)構(gòu)簡單、易實(shí)現(xiàn)、可節(jié)省設(shè)備占地面積的顯著特點(diǎn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人李廣義;王銳廷;趙宏宇;張豹;裴立坤;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)
- 申請?zhí)?/b>CN201410001185.8
- 申請時(shí)間2014年01月02日
- 申請公布號(hào)CN103693343A
- 申請公布時(shí)間2014年04月02日
- 分類號(hào)B65G1/02(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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