摘要：本發(fā)明公開了一種LPCVD設(shè)備的溫控系統(tǒng)自校正方法，包括：對(duì)LPCVD設(shè)備各個(gè)溫控區(qū)建立包含時(shí)滯誤差的PID控制模型；建立包含權(quán)重系數(shù)的比例，積分，微分控制項(xiàng)的自校正調(diào)節(jié)項(xiàng)模型，并確定已建立的權(quán)重系數(shù)取值范圍；建立監(jiān)督控制項(xiàng)，用于加強(qiáng)控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性。同時(shí)，本發(fā)明也公開了一種LPCVD設(shè)備的溫控系統(tǒng)自校正裝置，包括：控制模型模塊，用于建立LPCVD設(shè)備各個(gè)溫控區(qū)的包含時(shí)滯誤差的PID控制模型；權(quán)重PID控制模型模塊，用于建立包含權(quán)重系數(shù)的比例，積分，微分控制項(xiàng)模型，并確定已建立的權(quán)值系數(shù)取值范圍；監(jiān)督模塊，用于加強(qiáng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。通過此種設(shè)計(jì)，提高了PID控制模型參數(shù)設(shè)置的準(zhǔn)確性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人王峰;張乾;
- 地址100015 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310504946.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年10月23日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103576672A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年02月12日
- 分類號(hào)G05B23/02(2006.01)I;G05B13/04(2006.01)I;
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