摘要：一種預(yù)對準(zhǔn)機(jī)的標(biāo)定方法，一機(jī)械手將一晶圓放置在一預(yù)對準(zhǔn)機(jī)上；所述機(jī)械手和預(yù)對準(zhǔn)機(jī)坐標(biāo)系相對方向的確定，包括步驟：機(jī)械手將晶圓放置在預(yù)對準(zhǔn)機(jī)上，晶圓的圓心處于預(yù)對準(zhǔn)機(jī)所在的一第一坐標(biāo)系中的一第一位置點；預(yù)對準(zhǔn)機(jī)識別第一位置點在第一坐標(biāo)系中的坐標(biāo)；機(jī)械手驅(qū)使晶圓沿機(jī)械手所在的一第二坐標(biāo)系的橫軸方向移動一距離，晶圓的圓心到達(dá)一第二位置點；預(yù)對準(zhǔn)機(jī)識別出第二位置點在第一坐標(biāo)系中的坐標(biāo)；計算第一位置點與第二位置點的連線與第一坐標(biāo)系的橫軸之間的夾角，即為第一坐標(biāo)系與第二坐標(biāo)系的相對方向；所述機(jī)械手調(diào)整晶圓位置，對晶圓進(jìn)行預(yù)對準(zhǔn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司;
- 發(fā)明人曲道奎;徐方;張鵬;溫燕修;李學(xué)威;孫義田;鄭鋆;王魯非;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區(qū)金輝街16號
- 申請?zhí)?/b>CN201210002104.7
- 申請時間2012年01月05日
- 申請公布號CN103199022B
- 申請公布時間2015年05月13日
- 分類號H01L21/50(2006.01)I;G01B21/00(2006.01)I;
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