摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種密封裝置，涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備的密封技術(shù)領(lǐng)域，該裝置包括：充氣密封圈及為所述充氣密封圈充氣的充氣裝置，所述充氣密封圈用于密封待密封空間，所述充氣密封圈包括：充氣圈及與所述充氣圈形成為一體的固定座，所述充氣圈用于密封待密封空間，所述固定座用于固定所述充氣密封圈。還公開(kāi)了一種密封系統(tǒng)，包括上述密封裝置和密封門。本發(fā)明采用充氣密封圈，在密封時(shí)消除密封門與門框之間的間隙，得到了良好的密封效果，而且產(chǎn)品使用過(guò)程比較穩(wěn)定，不易破損，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，壽命較長(zhǎng)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人王麗榮;董金衛(wèi);慕曉航;趙星梅;郝永鵬;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2號(hào)樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201110332641.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年10月27日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102425366A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年04月25日
- 分類號(hào)E06B7/16(2006.01)I;
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