摘要：本發(fā)明公開了一種半導體工藝配方生成方法及系統(tǒng)，該方法包括步驟：S1.根據(jù)不同腔室的特征，對工藝配方進行動態(tài)配置，生成配置文件，并進行配方參數(shù)的約束設置；S2.根據(jù)配置文件以及配方參數(shù)的約束設置，生成工藝配方文件。本發(fā)明的方法及系統(tǒng)利用半導體工藝過程中某些流程的相同相似性，可實現(xiàn)快速生成以及檢驗配方。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人郭訓容;楊曉;吳儀;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201110106674.6
- 申請時間2011年04月27日
- 申請公布號CN102243670A
- 申請公布時間2011年11月16日
- 分類號G06F17/50(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
