摘要：本發(fā)明涉及一種清洗藥液的前饋-串級(jí)溫度控制方法，屬于自動(dòng)化控制技術(shù)領(lǐng)域。為了提高藥液溫度控制方法的抗擾動(dòng)能力，該方法包括如下步驟：在藥液存儲(chǔ)槽底部位置設(shè)置第一溫度傳感器及前饋控制器，在加熱器的出口處設(shè)置第二溫度傳感器，在工藝清洗供液出口處設(shè)置第三溫度傳感器；控制加熱器對(duì)藥液存儲(chǔ)槽進(jìn)行加熱，使存儲(chǔ)槽內(nèi)藥液溫度達(dá)到目標(biāo)溫度值；當(dāng)藥液達(dá)到目標(biāo)溫度值并穩(wěn)定后，進(jìn)行清洗藥液供給，同時(shí)控制加熱器加熱功率使供液溫度穩(wěn)定保持為供液目標(biāo)溫度值。該方法可以有效的克服因清洗藥液回收或者補(bǔ)液所引起的供液出口處的供液溫度的擾動(dòng)；可以有效克服管道壓力變化等因素所引起的流量波動(dòng)對(duì)加熱器出口處藥液溫度的影響。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人李春彥;李曼;韓雷剛;裴立坤;昝威;
- 地址100016 北京市朝陽(yáng)區(qū)酒仙橋東路1號(hào)M2號(hào)樓2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201110108494.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2011年04月28日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102147626A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2011年08月10日
- 分類號(hào)G05D23/20(2006.01)I;
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