摘要：本發(fā)明公開了一種化學液存儲設備及化學液存儲及分配控制方法，該設備包括：若干化學液存儲器、化學液保護裝置、以及控制器，化學液保護裝置包括：氣體輸送管路，與化學液存儲器連接；化學液輸送管路，與化學液存儲器連接；化學液分配管路，與化學液存儲器連接；每個化學液存儲器的側(cè)壁上不同高度處均設置有若干液位傳感器；控制器，與各管路及液位傳感器均相連，控制各管路的通斷，以及檢測化學液液位。本發(fā)明的設備及方法可對多個化學液存儲器內(nèi)的液體進行動態(tài)保護，隨著化學液使用過程中液位的上升和下降，可保持存儲器中化學液上空的氣體處于動態(tài)平衡，且結(jié)構(gòu)簡單，操作容易。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人何金群;裴立坤;昝威;王銳廷;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN201010588162.3
- 申請時間2010年12月08日
- 申請公布號CN102092540A
- 申請公布時間2011年06月15日
- 分類號B65D88/02(2006.01)I;B65D90/32(2006.01)I;F17D1/02(2006.01)I;F17D1/08(2006.01)I;
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