摘要：本實(shí)用新型提供了一種帶離子阱的脈沖式輝光放電離子源，包括：電源、能夠產(chǎn)生離子的放電體C和離子引出電極B2，放電體C的高壓端連接電源，低壓端通過(guò)相互串聯(lián)的限流電阻R1和高壓開(kāi)關(guān)S1接地，離子引出電極B2的一端通過(guò)分壓電阻R3連接放電體C的高壓端，另一端通過(guò)相互串聯(lián)的分壓電阻R2和高壓開(kāi)關(guān)S2接地，放電體C包括兩個(gè)位置相對(duì)的正負(fù)放電電極和筒狀可提供穩(wěn)定的脈沖輝光放電區(qū)域的離子源電極筒，該正負(fù)放電電極通過(guò)開(kāi)設(shè)在離子源電極筒側(cè)壁上的開(kāi)孔伸入到離子源電極筒內(nèi)。本實(shí)用新型所述脈沖式輝光放電離子源，實(shí)現(xiàn)了脈沖離子流強(qiáng)度及脈寬的可調(diào)控。同時(shí)克服了離子附著離子源管壁的問(wèn)題，減少了離子損失，提高了離子引出率。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
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- 發(fā)明人劉立秋;馬軍;張偉;顏毅堅(jiān);徐翔;張亦揚(yáng);
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201220592316.0
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- 分類(lèi)號(hào)H01J49/10(2006.01)I;
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