摘要:本實(shí)用新型公開了一種離子源組件的接氣裝置,包括:固定部,所述固定部設(shè)置于質(zhì)譜儀真空腔體與離子源之間,離子源固定在所述固定部一側(cè);所述固定部內(nèi)設(shè)有與外部相通的通氣孔一;離子源靠近固定部處設(shè)有與通氣孔一對應(yīng)連接的通氣孔二;氣管接頭二,所述氣管接頭二位于所述離子源外部,與所述通氣孔二連通;所述通氣孔一與所述通氣孔二之間設(shè)有密封件;氣管,位于所述離子源的進(jìn)樣針組件頂端,與所述氣管接頭二連接。本實(shí)用新型的離子源組件的接氣裝置,離子源各組件的氣流輸入接口設(shè)置于真空腔體一側(cè)保持固定,離子源的打開與關(guān)閉不會對氣流輸入造成影響,避免了氣管隨著離子源開關(guān)而拉扯可能造成的風(fēng)險,安全、可靠。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人張佶;潘翔;張軼鳴;戴麗;周立;
- 地址215347 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)中華園西路1888號天瑞產(chǎn)業(yè)園
- 申請?zhí)?/b>CN201520112666.6
- 申請時間2015年02月16日
- 申請公布號CN204391043U
- 申請公布時間2015年06月10日
- 分類號H01J49/10(2006.01)I;H01J49/04(2006.01)I;G01N30/72(2006.01)I;




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