摘要：本實(shí)用新型公開了一種用于解析離子源進(jìn)樣裝置的XY移動(dòng)平臺(tái)，包括X移動(dòng)平臺(tái)和Y移動(dòng)平臺(tái)，X移動(dòng)平臺(tái)安裝在所述Y移動(dòng)平臺(tái)上，X移動(dòng)平臺(tái)包括基座，滑動(dòng)部件和軌道部件，滑動(dòng)部件滑動(dòng)安裝在所述軌道部件上，所述軌道部件安裝在所述基座上，所述X移動(dòng)平臺(tái)上包括第一擋塊和第二擋塊；本實(shí)用新型通過XY移動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)推動(dòng)舉靶頂靶機(jī)構(gòu)使得蓋板上的凹槽與靶槽平臺(tái)形成封閉腔室并由真空系統(tǒng)抽真空，以形成過渡真空腔室，可以有效地使得樣品進(jìn)行一個(gè)動(dòng)態(tài)的樣品對(duì)于真空度的適應(yīng)過程，操作更加靈活和便捷。
- 專利類型實(shí)用新型
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- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年12月14日
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