摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種離子源三維聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括：Y軸調(diào)節(jié)裝置、安裝在所述Y軸調(diào)節(jié)裝置上的Z軸調(diào)節(jié)裝置、傾斜安裝在所述Z軸調(diào)節(jié)裝置上的X軸調(diào)節(jié)裝置以及安裝在所述X軸調(diào)節(jié)裝置上的離子源裝置；所述X軸調(diào)節(jié)裝置包括X軸基座、X軸升降滑槽部件、離子源X軸斜滑槽部件，通過(guò)安裝安裝在所述X軸升降滑槽部件內(nèi)的離子源裝置上的固定部件穿過(guò)滑槽并至斜滑槽并隨著斜滑槽圍繞離子源X軸斜滑槽部件中心的轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)離子源裝置的運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明可以通過(guò)調(diào)節(jié)Y軸調(diào)節(jié)裝置、Z軸調(diào)節(jié)裝置以及X軸調(diào)節(jié)裝置來(lái)調(diào)節(jié)離子源與錐口的相對(duì)位置，達(dá)到使數(shù)量更多的離子化效果更理想的離子進(jìn)入錐口的目的，以獲得更強(qiáng)的信號(hào)。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
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- 申請(qǐng)時(shí)間2015年02月16日
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- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年05月13日
- 分類(lèi)號(hào)H01J49/04(2006.01)I;H01J49/10(2006.01)I;
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