摘要：本發(fā)明公開了一種離子源三維聯(lián)動機構(gòu)，包括：Y軸調(diào)節(jié)裝置、安裝在所述Y軸調(diào)節(jié)裝置上的Z軸調(diào)節(jié)裝置、傾斜安裝在所述Z軸調(diào)節(jié)裝置上的X軸調(diào)節(jié)裝置以及安裝在所述X軸調(diào)節(jié)裝置上的離子源裝置；所述X軸調(diào)節(jié)裝置包括X軸基座、X軸升降滑槽部件、離子源X軸斜滑槽部件，通過安裝安裝在所述X軸升降滑槽部件內(nèi)的離子源裝置上的固定部件穿過滑槽并至斜滑槽并隨著斜滑槽圍繞離子源X軸斜滑槽部件中心的轉(zhuǎn)動，帶動離子源裝置的運動。本發(fā)明可以通過調(diào)節(jié)Y軸調(diào)節(jié)裝置、Z軸調(diào)節(jié)裝置以及X軸調(diào)節(jié)裝置來調(diào)節(jié)離子源與錐口的相對位置，達到使數(shù)量更多的離子化效果更理想的離子進入錐口的目的，以獲得更強的信號。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人應(yīng)剛;張軼鳴;謝文沛;周立;
- 地址215347 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)中華園西路1888號天瑞產(chǎn)業(yè)園
- 申請?zhí)?/b>CN201510084083.1
- 申請時間2015年02月16日
- 申請公布號CN104616961A
- 申請公布時間2015年05月13日
- 分類號H01J49/04(2006.01)I;H01J49/10(2006.01)I;
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