用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)

　　摘要：本實(shí)用新型公開了一種用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)，其包括一真空腔，所述真空腔通過一連接腔連接一分子泵，所述分子泵連接一不銹鋼管，所述真空腔還連接一真空規(guī)，所述真空腔兩端設(shè)有端蓋，所述端蓋與真空腔連接處加設(shè)有O型密封圈，所述真空腔的表面粗糙度Ra達(dá)到0.8-1.6，所述真空腔使用的是鋁材料。本實(shí)用新型的用于質(zhì)譜儀的真空腔系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，易于拆裝，可以保證質(zhì)譜儀的真空度達(dá)到一個(gè)較高的水平。

專利類型實(shí)用新型
申請人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
發(fā)明人胡曉斌;任建凱;
地址215200 江蘇省昆山市巴城鎮(zhèn)葦城南路1666號天瑞大廈
申請?zhí)?/b>CN201020218077.3

申請時(shí)間2010年06月08日

申請公布號CN201829450U

申請公布時(shí)間2011年05月11日

分類號H01J49/04(2006.01)I;

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