摘要：本發(fā)明公開了一種電子槍，屬于離子源領(lǐng)域，電子發(fā)射機構(gòu)包括陰極燈絲、陽極對電極及陽極擋板電極，陰極燈絲安裝在陽極對電極的一側(cè)，陽極對電極的另一側(cè)與加速聚焦機構(gòu)的一側(cè)絕緣連接，加速聚焦機構(gòu)的另一側(cè)與偏轉(zhuǎn)機構(gòu)的一側(cè)絕緣連接，陽極擋板電極位于偏轉(zhuǎn)機構(gòu)的另一側(cè)；加速聚焦機構(gòu)包括聚焦電極板及多個聚焦筒，偏轉(zhuǎn)機構(gòu)包括調(diào)節(jié)所述電子束強度的上、下部偏轉(zhuǎn)電極板，各聚焦筒絕緣連接，連接后的一端與陽極對電極絕緣連接、且該端與聚焦電極板接觸，另一端分別與上、下部偏轉(zhuǎn)電極板絕緣連接；陽極對電極及聚焦電極板上均開有供電子束通過的孔。本發(fā)明可以調(diào)節(jié)電子束的束斑大小、位置及電子束強度，使電子束與中性粒子束的碰撞空間增大。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人中國科學院大連化學物理研究所;
- 發(fā)明人雷鑫;江凌;趙志;張冰冰;楊學明;
- 地址116023 遼寧省大連市中山路457號
- 申請?zhí)?/b>CN201510144815.1
- 申請時間2015年03月30日
- 申請公布號CN106158572A
- 申請公布時間2016年11月23日
- 分類號H01J49/10(2006.01)I;
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