摘要：本發(fā)明公開了一種芯片在線清洗干燥設(shè)備，包括自動進料機構(gòu)、噴淋式清洗裝置、真空干燥設(shè)備、定位臺。所述真空干燥設(shè)備包括機架，機架的中部設(shè)置銜接清洗機的一對托住芯片兩側(cè)邊水平運動的干燥傳送帶，干燥傳送帶之間下方的機架上設(shè)置由機械動力控制頂托芯片上下運動的推板，推板的正上方設(shè)置帶有真空吸盤和紅外加熱管的第一真空室，第一真空室的一側(cè)設(shè)置通過連桿機構(gòu)與第一真空室活動連接的、具有與第一真空室下端匹配的密封結(jié)構(gòu)的第二真空室，第二真空室對應(yīng)第一真空室設(shè)置密封結(jié)構(gòu)的一側(cè)開設(shè)有與芯片對應(yīng)的真空吸附孔。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計巧妙，自動拾取芯片進行噴淋式清洗和真空干燥，在真空環(huán)境下對芯片進行熱力烘干，保護芯片不受損傷。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人江陰迪林生物電子技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人白向陽;
- 地址214434 江蘇省無錫江陰市砂山路85號B4室
- 申請?zhí)?/b>CN201210279134.2
- 申請時間2012年07月26日
- 申請公布號CN102820242A
- 申請公布時間2012年12月12日
- 分類號H01L21/67(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;F26B15/18(2006.01)I;F26B7/00(2006.01)I;
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