摘要：一種大尺寸光柵制造設(shè)備，屬于高精度自動化刻蝕設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。X軸直線電機驅(qū)動被加工工件以極低速連續(xù)運動或納米級定位運行，Z軸直線電機驅(qū)動化學(xué)涂膠或光刻處理盒運動，調(diào)節(jié)化學(xué)涂膠或光刻處理盒與被加工工件之間的距離。整機振動頻率在10Hz以下，消除了設(shè)備自身振動及環(huán)境的振動噪聲影響。被加工工件以極低速平穩(wěn)運行時，CNC數(shù)控裝置控制化學(xué)涂膠或光刻處理盒進行高質(zhì)量連續(xù)均勻地鍍膜。直線電機驅(qū)動被加工工件以納米級定位精度極低速運行時，CNC數(shù)控裝置控制化學(xué)涂膠或光刻蝕處理盒進行激光直寫式或小尺寸激光干涉式刻蝕工作，在被加工工件的加工面刻蝕出高質(zhì)量高密度的周期性納米溝槽。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，提高了大尺寸微納米結(jié)構(gòu)的制造效率。
- 專利類型實用新型
- 申請人嘉興華嶺機電設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人伍鵬;
- 地址314006 浙江省嘉興市凌公塘路3339號6號樓1樓
- 申請?zhí)?/b>CN201320837321.8
- 申請時間2013年12月17日
- 申請公布號CN203630384U
- 申請公布時間2014年06月04日
- 分類號G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;B23K26/362(2014.01)I;
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