摘要：本實用新型涉及一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，所述激光器（1）發(fā)出的激光依次經(jīng)光閘（2）、1/2波片（3）和格蘭棱鏡（4）后射入擴束鏡（5）對光束進行同軸擴束，經(jīng)擴束鏡（5）擴束準(zhǔn)直后的激光到達全反鏡片（6），經(jīng)全反鏡片（6）反射后的激光射入振鏡系統(tǒng)（7），射出振鏡系統(tǒng)（7）的激光經(jīng)遠(yuǎn)心場鏡（8）后聚焦到被吸附于真空吸附平臺（13）上作為待加工件（12）的柔性導(dǎo)電膜上。本實用新型一種脈沖激光刻蝕卷對卷柔性導(dǎo)電膜的裝置，適應(yīng)生產(chǎn)需求、減少生產(chǎn)工序、增加生產(chǎn)效率且節(jié)約生產(chǎn)成本。
- 專利類型實用新型
- 申請人江陰德力激光設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人趙裕興;狄建科;張偉;益凱劼;張子國;蔡仲云;閆華;
- 地址214434 江蘇省無錫市江陰市城東街道金山路201號數(shù)碼港C座1樓
- 申請?zhí)?/b>CN201220266396.0
- 申請時間2012年06月07日
- 申請公布號CN202667918U
- 申請公布時間2013年01月16日
- 分類號B23K26/03(2006.01)I;B23K26/06(2006.01)I;B23K26/14(2006.01)I;B23K26/36(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I;
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