摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于橢偏測(cè)量系統(tǒng)的樣品方位校準(zhǔn)的裝置，包括光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微物鏡組，光學(xué)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)包括光學(xué)器件套筒，在該光學(xué)器件套筒的底部固定設(shè)置有滑動(dòng)裝置，滑動(dòng)裝置上設(shè)置有能夠水平移動(dòng)的顯微物鏡組，顯微物鏡組在滑動(dòng)裝置上滑動(dòng)以實(shí)現(xiàn)其與光學(xué)器件套筒的光軸重合或遠(yuǎn)離。本實(shí)用新型采用了自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)結(jié)合的方式，通過(guò)滑動(dòng)裝置帶動(dòng)顯微物鏡離開(kāi)或進(jìn)入光學(xué)器件套筒的光軸，來(lái)實(shí)現(xiàn)自準(zhǔn)直望遠(yuǎn)系統(tǒng)和顯微系統(tǒng)的功能簡(jiǎn)單切換。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：該系統(tǒng)外形小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、觀察快速、操作簡(jiǎn)捷。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京量拓科技有限公司;
- 發(fā)明人孟永宏;趙鑫;
- 地址100098 北京市海淀區(qū)大鐘寺東路9號(hào)京儀科技大廈C座309室
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201020172663.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2010年04月22日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN201681041U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2010年12月22日
- 分類號(hào)G01N21/21(2006.01)I;G02B23/10(2006.01)I;
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