摘要：本發(fā)明涉及一種多波長入射單發(fā)橢偏測量方法，首先提供寬光譜激光光源、寬帶偏振片、樣品、擴(kuò)束鏡、寬帶1/4波片、晶體斜劈、寬帶檢偏器、狹縫、透射光柵、成像屏、面陣相機(jī)以及計算機(jī)，通過雙折射晶體斜劈的偏光干涉將光偏振態(tài)的變化轉(zhuǎn)換成一維條紋光斑的移動，采取合理光路設(shè)計將多波長入射光對應(yīng)的條紋分布在另外一個維度上，利用圖像技術(shù)對光斑內(nèi)的多組條紋進(jìn)行定位和處理，在單次測量中即可獲得各個波長對應(yīng)的偏振態(tài)信息。本發(fā)明的測試方法無機(jī)械旋轉(zhuǎn)或光學(xué)調(diào)制器件，而且測量結(jié)果與光強(qiáng)波動無關(guān)，可以極大減小系統(tǒng)的測量誤差，提高測量的穩(wěn)定性。本發(fā)明的測量速度只受限于相機(jī)采集速度，結(jié)合高速線陣相機(jī)，可以將時間分辨率縮短到毫秒以下。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人福州大學(xué);
- 發(fā)明人馬靖;許燦華;裴麗燕;邱鑫茂;呂佩偉;
- 地址350108 福建省福州市閩侯縣上街鎮(zhèn)大學(xué)城學(xué)園路2號福州大學(xué)新區(qū)
- 申請?zhí)?/b>CN201510830357.7
- 申請時間2015年11月25日
- 申請公布號CN105403514A
- 申請公布時間2016年03月16日
- 分類號G01N21/21(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I;G01N21/45(2006.01)I;
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