摘要：本發(fā)明涉及一種多角度入射單發(fā)橢偏測(cè)量方法，首先提供激光束聚焦柱透鏡、樣品、準(zhǔn)直柱透鏡、1/4波片、晶體斜劈、檢偏器、成像屏、面陣相機(jī)以及計(jì)算機(jī)，再通過(guò)雙折射晶體斜劈的偏光干涉將光偏振態(tài)的變化轉(zhuǎn)換成一維條紋光斑的移動(dòng)，其次采取合理光路設(shè)計(jì)將多角度入射對(duì)應(yīng)的條紋分布在另外一個(gè)維度上，最后利用圖像技術(shù)對(duì)光斑內(nèi)的多組條紋進(jìn)行定位和處理，在單次測(cè)量中即可獲得多組偏振態(tài)信息。本發(fā)明的測(cè)試方法無(wú)機(jī)械旋轉(zhuǎn)或光學(xué)調(diào)制器件，測(cè)量速度只受限于相機(jī)采集速度，而且測(cè)量結(jié)果與光強(qiáng)波動(dòng)無(wú)關(guān)，可以極大減小系統(tǒng)的測(cè)量誤差，提高測(cè)量的穩(wěn)定性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人福州大學(xué);
- 發(fā)明人馬靖;許燦華;裴麗燕;邱鑫茂;施洋;
- 地址350108 福建省福州市閩侯縣上街鎮(zhèn)大學(xué)城學(xué)園路2號(hào)福州大學(xué)新區(qū)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201510235765.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年05月11日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105181604A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年12月23日
- 分類號(hào)G01N21/21(2006.01)I;
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