摘要：本發(fā)明公開了一種用于橢偏測量系統(tǒng)中入射角度自動探測的裝置，包括用于產生具有偏振態(tài)的探測光波、并將其入射到樣品上的起偏臂，用于對經樣品反射后光波進行偏振態(tài)再調制和光能量檢測的檢偏臂，用于支撐起偏臂和檢偏臂的基板，其中，基板上設置有若干個位置探測開關，起偏臂和檢偏臂上均設置有用于觸發(fā)位置探測開關的觸發(fā)裝置，起偏臂和檢偏臂轉動到不同的位置，安裝在其上的觸發(fā)裝置將改變位置探測開關的狀態(tài)，從而獲得該入射角度、反射角度的信號，以實現起偏臂和檢偏臂的位置探測、及入射角度的自動探測。本發(fā)明提供的用于橢偏測量系統(tǒng)中角度自動探測的裝置和方法結構簡單易于實現，具有成本低、快速、高效、自動化、高可靠性的優(yōu)點。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京量拓科技有限公司;
- 發(fā)明人孟永宏;楊濤;
- 地址100098 北京市海淀區(qū)大鐘寺東路9號京儀科技大廈C座309室
- 申請?zhí)?/b>CN201010137774.0
- 申請時間2010年03月30日
- 申請公布號CN101846616A
- 申請公布時間2010年09月29日
- 分類號G01N21/21(2006.01)I;
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