摘要：本實(shí)用新型涉及一種用于測量角速度的全解耦電容式微機(jī)械陀螺，屬于微機(jī)電系統(tǒng)中的慣性傳感器技術(shù)領(lǐng)域。立柱固定在基片上，驅(qū)動彈性梁和檢測彈性梁圍成方框，且分別通過立柱與基片相對固定。橫向隔離梁和縱向隔離梁圍成的方框位于上述方框中。檢測質(zhì)量塊位于由橫向隔離梁和縱向隔離梁圍成的方框中，其四角分別與之相連。檢測電容可動電極和驅(qū)動電容可動電極分別與檢測彈性梁和驅(qū)動彈性梁相連。檢測電容固定電極和驅(qū)動電容固定電極分別固定在基片上，且分別與檢測電容可動電極和驅(qū)動電容可動電極的位置相對。本實(shí)用新型從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上消除了機(jī)械耦合帶來的測量干擾，提高了微機(jī)械陀螺的靈敏度，且不增加生產(chǎn)的工藝難度和加工成本，易于批量生產(chǎn)。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人紫光股份有限公司;
- 發(fā)明人高宏;王慶;
- 地址100084 北京市海淀區(qū)清華大學(xué)紫光大廈八層
- 申請?zhí)?/b>CN200920278262.9
- 申請時間2009年12月25日
- 申請公布號CN201561983U
- 申請公布時間2010年08月25日
- 分類號G01P3/46(2006.01)I;
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