摘要：本發(fā)明涉及一種全解耦雙軸電容式微機(jī)械加速度計(jì)，屬于微機(jī)電系統(tǒng)中的慣性傳感器技術(shù)領(lǐng)域。加速度計(jì)中，立柱固定在加速度計(jì)的基片上，橫向和縱向折疊梁通過立柱固定在加速度計(jì)的基片上，橫向和縱向可動電極分別與橫向和縱向折疊梁相對固定，橫向和縱向固定電極固定在加速度計(jì)的基片上，且分別與橫向和縱向可動電極的位置相對，橫向隔離梁與縱向可動電極相對固定，縱向隔離梁與橫向可動電極相對固定，敏感質(zhì)量塊位于由橫向和縱向隔離梁圍成的方框中，敏感質(zhì)量塊的四角分別與橫向和縱向隔離梁相對固定。本發(fā)明的加速度計(jì)，完全解決了雙軸電容式微機(jī)械加速度計(jì)的機(jī)械交叉耦合問題，降低了測量誤差，實(shí)現(xiàn)了對加速度的高精度測量。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人紫光股份有限公司;
- 發(fā)明人高宏;王慶;
- 地址北京市海淀區(qū)清華大學(xué)紫光大樓605室
- 申請?zhí)?/b>CN200910242283.X
- 申請時(shí)間2009年12月11日
- 申請公布號CN101876665A
- 申請公布時(shí)間2010年11月03日
- 分類號G01P15/125(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;
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