摘要：本發(fā)明公開了一種真空排氣臺，包括真空室，為中空長條型結(jié)構(gòu)；在真空室上開設(shè)有多個第一開口和一個排氣口，多個第一開口和排氣口分別位于真空室的相對兩側(cè)壁；閥門，與真空室的排氣口連接，其中，真空室垂直于長方向上的截面面積與閥門的橫截面積相等；多個尾管座，分別設(shè)置在多個第一開口處，尾管座使工件和真空室密封連接。本發(fā)明使真空室垂直于長方向上的截面面積與閥門的橫截面積相等，進(jìn)而使真空室的流導(dǎo)等于抽真空裝置的流導(dǎo)，有效的解決了近端工件與遠(yuǎn)端工件真空度存在差值的問題，使離閥門距離最遠(yuǎn)的尾管座上的工件，其真空度也能達(dá)到超高真空，并且同一批工件的真空度都處于同一數(shù)量級。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人成都西沃克真空科技有限公司;
- 發(fā)明人徐子明;傅紹英;向勇;劉雯;閆宗楷;
- 地址610200 四川省成都市雙流縣蛟龍工業(yè)港（雙流園區(qū)）東海路六段680號
- 申請?zhí)?/b>CN201610201381.9
- 申請時間2016年03月31日
- 申請公布號CN105697332A
- 申請公布時間2016年06月22日
- 分類號F04B37/14(2006.01)I;
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