摘要:本發(fā)明公開了一種基于高深寬比納米陣列探測微振動的方法,屬于微振檢測領(lǐng)域。該方法是:激光器經(jīng)過光束整形后,從側(cè)面入射到高深寬比納米陣列,在另一側(cè)形成明暗相間的衍射條紋;當(dāng)高深寬比柱陣列感受到外界振動時,會發(fā)生同步搖晃振動,導(dǎo)致衍射條紋隨之發(fā)生變化;讀取衍射條紋±1級的運動軌跡,得到衍射條紋的變化角度θ,根據(jù)理論力學(xué)與材料力學(xué)的相關(guān)知識,推導(dǎo)出外界載荷p與角度θ之間的關(guān)系,從而通過檢測衍射條紋變化角度θ實現(xiàn)測量外界微小振動載荷的目的。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,易于實現(xiàn)系統(tǒng)集成。同時,與現(xiàn)有探測方式相比,避免微小電信號的檢測難度,提高探測系統(tǒng)的精度。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人西北工業(yè)大學(xué);
- 發(fā)明人馬志波;苑偉政;姜澄宇;喬大勇;孟海莎;
- 地址710072 陜西省西安市友誼西路127號
- 申請?zhí)?/b>CN201510125375.5
- 申請時間2015年03月20日
- 申請公布號CN104764521A
- 申請公布時間2015年07月08日
- 分類號G01H11/02(2006.01)I;




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