摘要:本發(fā)明適用于檢測技術領域,提供了尤其涉及一種設備直線度和垂直度的檢測方法、裝置,所述方法包括:根據(jù)獲取到所述M1幅圖像中標記點的像素坐標,擬合生成所述X軸的標記點直線,生成所述設備的X軸的直線度測試結果;根據(jù)獲取到所述M1幅圖像中標記點的像素坐標,擬合生成所述Y軸的標記點直線,生成所述設備的Y軸的直線度測試結果;根據(jù)所述θx和所述θy生成所述X軸與所述Y軸的夾角θxy,生成所述設備X軸與Y軸之間的垂直度測試結果。解決了現(xiàn)有的設備直線度和垂直度檢測效率低、成本高的問題,增大了檢測設備直線度和垂直度的應用范圍,并提高了設備直線度和垂直度的檢測效率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族電機科技有限公司;
- 發(fā)明人舒遠;王光能;閆靜;米野;高云峰;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)高新技術園北區(qū)新西路9號
- 申請?zhí)?/b>CN201310507811.6
- 申請時間2013年10月24日
- 申請公布號CN104567749A
- 申請公布時間2015年04月29日
- 分類號G01B11/27(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I;




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