摘要：本發(fā)明提供一種用于激光干涉儀測量導軌直線度的光學系統(tǒng)，包括：探測光學組件、光學轉(zhuǎn)向鏡、可旋轉(zhuǎn)激光頭和外光路組件，光束通過所述探測光學組件實現(xiàn)雙通道的光學探測，所述光學轉(zhuǎn)向鏡用于實現(xiàn)光束的下移和轉(zhuǎn)向以適應所述探測光學組件的探測需求，所述可旋轉(zhuǎn)激光頭為設置于所述探測光學組件和外光路組件之間的可旋轉(zhuǎn)回光部件，所述外光路組件用于測量所述光學系統(tǒng)的外光路。本發(fā)明通過三維光學轉(zhuǎn)向鏡大大簡化了垂直方向直線度測量的設置和步驟，所述探測光學組件實現(xiàn)雙通道的光學探測，簡化了光學系統(tǒng)的光學元件，最大化的利用了光學元件，節(jié)約儀器設計的空間；同時，所述可旋轉(zhuǎn)激光頭的激光回光孔設計得更為合理，充分利用了現(xiàn)有的孔位。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人深圳市中圖儀器科技有限公司;
- 發(fā)明人劉龍為;張和君;張珂;陳源;
- 地址518049 廣東省深圳市南山區(qū)西麗學苑大道1001號智園B1棟二層
- 申請?zhí)?/b>CN201610323294.0
- 申請時間2016年05月13日
- 申請公布號CN105841638A
- 申請公布時間2016年08月10日
- 分類號G01B11/27(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I;
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