摘要：本實用新型提供一種激光干涉儀的角度測量校準裝置及系統(tǒng)，所述激光干涉儀的角度測量校準裝置包括：激光頭、角度干涉鏡、角度反射鏡、轉(zhuǎn)臺上盤、轉(zhuǎn)臺下盤和轉(zhuǎn)臺底座，所述角度干涉鏡設(shè)置于所述激光頭和角度反射鏡之間，所述角度反射鏡設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺上盤上，所述轉(zhuǎn)臺上盤設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺下盤上；所述轉(zhuǎn)臺底座設(shè)置有凹槽，所述轉(zhuǎn)臺下盤通過凹槽設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺底座上。本實用新型結(jié)構(gòu)精密，標準角度誤差小，能夠通過主動生成一定偏角來校準初始零位角，所述偏角可以通過角度光柵和驅(qū)動構(gòu)件來主動生成，該生成的角度較為精確；在此基礎(chǔ)上，在校準的過程中還能夠同時校準初始零位誤差和角度反射鏡的常數(shù)，簡化了激光干涉儀的校準步驟，提高了校準效率。
- 專利類型實用新型
- 申請人深圳市中圖儀器科技有限公司;
- 發(fā)明人張和君;潘子祥;劉龍為;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)西麗學苑大道1001號智園B1棟2層
- 申請?zhí)?/b>CN201621011800.4
- 申請時間2016年08月30日
- 申請公布號CN205879111U
- 申請公布時間2017年01月11日
- 分類號G01B9/02(2006.01)I;
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