摘要：本實(shí)用新型提供一種激光干涉儀的角度測(cè)量校準(zhǔn)裝置及系統(tǒng)，所述激光干涉儀的角度測(cè)量校準(zhǔn)裝置包括：激光頭、角度干涉鏡、角度反射鏡、轉(zhuǎn)臺(tái)上盤(pán)、轉(zhuǎn)臺(tái)下盤(pán)和轉(zhuǎn)臺(tái)底座，所述角度干涉鏡設(shè)置于所述激光頭和角度反射鏡之間，所述角度反射鏡設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺(tái)上盤(pán)上，所述轉(zhuǎn)臺(tái)上盤(pán)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺(tái)下盤(pán)上；所述轉(zhuǎn)臺(tái)底座設(shè)置有凹槽，所述轉(zhuǎn)臺(tái)下盤(pán)通過(guò)凹槽設(shè)置于所述轉(zhuǎn)臺(tái)底座上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)精密，標(biāo)準(zhǔn)角度誤差小，能夠通過(guò)主動(dòng)生成一定偏角來(lái)校準(zhǔn)初始零位角，所述偏角可以通過(guò)角度光柵和驅(qū)動(dòng)構(gòu)件來(lái)主動(dòng)生成，該生成的角度較為精確；在此基礎(chǔ)上，在校準(zhǔn)的過(guò)程中還能夠同時(shí)校準(zhǔn)初始零位誤差和角度反射鏡的常數(shù)，簡(jiǎn)化了激光干涉儀的校準(zhǔn)步驟，提高了校準(zhǔn)效率。
- 專利類(lèi)型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人深圳市中圖儀器科技有限公司;
- 發(fā)明人張和君;潘子祥;劉龍為;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201621011800.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年08月30日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN205879111U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2017年01月11日
- 分類(lèi)號(hào)G01B9/02(2006.01)I;
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