摘要：本發(fā)明公開了一種激光干涉儀的光路調(diào)校裝置，包括測試光路和成像光路，測試光路中激光器S1發(fā)出的激光通過空間濾波器Q1，再經(jīng)過偏振分光棱鏡P1轉(zhuǎn)折90度后通過其上方的1/4波片P3，再經(jīng)過95/5分光鏡P2轉(zhuǎn)折90度后通過準直物鏡Q2到達平面鏡M4；成像光路包括平面鏡M4，所平面鏡M4位于測試光路中準直物鏡Q2水平方向激光入射的另一側(cè)，被反射回的激光沿水平返回，經(jīng)過95/5分光鏡P2轉(zhuǎn)折90度后通過1/4波片P3，再經(jīng)過所述偏振分光棱鏡P1，然后通過反射鏡M1和反射鏡M2轉(zhuǎn)折經(jīng)過中繼鏡Q3，再經(jīng)過反射鏡M3轉(zhuǎn)折到變焦鏡頭Q4，最終干涉激光成像在CCD相機S2上。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人茂萊（南京）儀器有限公司;
- 發(fā)明人張斌;
- 地址211102 江蘇省南京市江寧經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)鋪崗街398號
- 申請?zhí)?/b>CN201610781966.2
- 申請時間2016年08月31日
- 申請公布號CN106323162A
- 申請公布時間2017年01月11日
- 分類號G01B9/02(2006.01)I;
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