摘要：本發(fā)明提供了一種激光干涉儀用的穩(wěn)頻裝置，包括電路控制系統(tǒng)、激光器、導(dǎo)向光路、穩(wěn)頻光路和激光輸出光路，其中，所述導(dǎo)向光路將所述激光器射出的光導(dǎo)向到所述穩(wěn)頻光路，所述穩(wěn)頻光路包括第一分光鏡、第二分光鏡和光電池。本發(fā)明還提供了一種激光干涉儀用的穩(wěn)頻方法。本發(fā)明的有益效果是：通過(guò)穩(wěn)頻分光的設(shè)計(jì)，使得激光器中用于穩(wěn)頻的光所占比例非常少，使得穩(wěn)頻部分的能量損失極小，極大的增加了用于工作的激光強(qiáng)度，并且第一分光鏡的角度和尺寸的設(shè)計(jì)可以大大減少雜散光對(duì)穩(wěn)頻精度的影響；穩(wěn)頻分光調(diào)節(jié)更為方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易行，并且結(jié)構(gòu)緊湊，易于機(jī)械封裝；采用對(duì)稱的光學(xué)和電子設(shè)計(jì)，可以確保穩(wěn)頻數(shù)據(jù)的精度和可靠性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人深圳市中圖儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人劉龍為;張和君;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1001號(hào)智園B1棟2層
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610854014.9
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年09月27日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN106524897A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2017年03月22日
- 分類號(hào)G01B9/02(2006.01)I;H01S3/137(2006.01)I;
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