摘要：本發(fā)明提供了一種激光干涉儀用的穩(wěn)頻裝置，包括電路控制系統(tǒng)、激光器、導向光路、穩(wěn)頻光路和激光輸出光路，其中，所述導向光路將所述激光器射出的光導向到所述穩(wěn)頻光路，所述穩(wěn)頻光路包括第一分光鏡、第二分光鏡和光電池。本發(fā)明還提供了一種激光干涉儀用的穩(wěn)頻方法。本發(fā)明的有益效果是：通過穩(wěn)頻分光的設計，使得激光器中用于穩(wěn)頻的光所占比例非常少，使得穩(wěn)頻部分的能量損失極小，極大的增加了用于工作的激光強度，并且第一分光鏡的角度和尺寸的設計可以大大減少雜散光對穩(wěn)頻精度的影響；穩(wěn)頻分光調節(jié)更為方便，結構簡單易行，并且結構緊湊，易于機械封裝；采用對稱的光學和電子設計，可以確保穩(wěn)頻數(shù)據的精度和可靠性。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人深圳市中圖儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人劉龍為;張和君;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區(qū)西麗學苑大道1001號智園B1棟2層
- 申請?zhí)?/b>CN201610854014.9
- 申請時間2016年09月27日
- 申請公布號CN106524897A
- 申請公布時間2017年03月22日
- 分類號G01B9/02(2006.01)I;H01S3/137(2006.01)I;
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