摘要：本發(fā)明公開了一種基于超材料的肖特基型毫米波多譜信號探測器，包括自下而上依次設(shè)置的襯底層、N型砷化鎵層、二氧化硅層與超材料層、歐姆電極和肖特基電極；其中超材料層為具有周期性微納米結(jié)構(gòu)的金屬開環(huán)共振單元陣列，所述金屬開環(huán)共振單元陣列包含了多種圖形及其特征尺寸參數(shù)，每個圖形對于特定電磁波具有完全吸收特性，通過改變金屬開環(huán)共振單元的結(jié)構(gòu)和尺寸參數(shù)可以調(diào)控對應(yīng)的電磁波吸收頻段，通過改變N型砷化鎵的耗盡層寬度可以調(diào)控超材料層中金屬開環(huán)共振單元陣列的電磁波吸收強度。本發(fā)明具有多譜、高靈敏度和高速特性，通過選擇不同金屬開環(huán)共振單元結(jié)構(gòu)并進行單片集成可以將探測器工作于毫米波的多個波段。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人羅俊;別業(yè)華;李維軍;張新宇;佟慶;雷宇;桑紅石;張?zhí)煨?謝長生;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201410456515.2
- 申請時間2014年09月09日
- 申請公布號CN104201233B
- 申請公布時間2016年04月13日
- 分類號H01L31/108(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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